發(fā)布時(shí)間： 2025-10-20 點(diǎn)擊次數(shù)： 19次
真空泵作為現(xiàn)代工業(yè)中真空獲得設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、醫(yī)藥化工、真空干燥與鍍膜等領(lǐng)域，憑借其無油運(yùn)行、低振動(dòng)、高效率與耐腐蝕特性。
真空泵通過一對精密配合的螺旋轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入、壓縮與排出，構(gòu)建清潔、穩(wěn)定的真空環(huán)境。
1、螺桿轉(zhuǎn)子
由一對經(jīng)高精度磨削加工的陰、陽螺桿轉(zhuǎn)子構(gòu)成，型線優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保嚙合間隙極小（通常5–20μm），實(shí)現(xiàn)高效密封與低泄漏。轉(zhuǎn)子表面常進(jìn)行特殊涂層處理（如鎳磷合金、特氟龍），增強(qiáng)耐磨性與耐腐蝕能力，適用于含水汽、溶劑或弱腐蝕性氣體的工況。
2、泵體腔室
采用高強(qiáng)度鑄鐵或不銹鋼制造，內(nèi)壁精密加工，確保與轉(zhuǎn)子間的配合精度。腔體設(shè)計(jì)優(yōu)化氣流路徑，減少渦流與阻力，提升抽氣效率。部分型號(hào)采用夾套結(jié)構(gòu)，可通入冷卻液，控制泵體溫升，保障長期穩(wěn)定運(yùn)行。
3、同步齒輪
位于軸承外側(cè)，通過高精度斜齒輪傳動(dòng)，確保兩轉(zhuǎn)子以恒定速比（通常1:1）反向同步旋轉(zhuǎn)。齒輪獨(dú)立于泵腔，由潤滑油潤滑，避免潤滑油進(jìn)入真空腔，實(shí)現(xiàn)真正“干式”運(yùn)行。精密加工與合理間隙設(shè)計(jì)，降低噪音與振動(dòng)。
4、軸承系統(tǒng)
采用高精度角接觸球軸承或圓柱滾子軸承，承受徑向與軸向載荷。軸承位于泵腔外側(cè)，由專用潤滑脂或油路系統(tǒng)潤滑，防止污染物侵入。部分泵配備軸承溫度傳感器，實(shí)現(xiàn)過熱保護(hù)。
5、軸封裝置
采用機(jī)械密封或迷宮密封結(jié)構(gòu)，安裝在轉(zhuǎn)子伸出端，防止外部空氣滲入真空腔或潤滑油泄漏。機(jī)械密封多為雙端面設(shè)計(jì)，可通入密封氣（如氮?dú)猓┻M(jìn)一步提升密封性能，適用于高純度或危險(xiǎn)氣體環(huán)境。
6、進(jìn)氣口與排氣口
進(jìn)氣口連接真空系統(tǒng)，通常配備內(nèi)置或外置過濾器，防止顆粒物進(jìn)入泵腔。排氣口連接大氣或前級(jí)泵，部分型號(hào)集成排氣單向閥，防止停機(jī)時(shí)空氣倒流。接口形式多樣（法蘭、螺紋），便于系統(tǒng)集成。
7、冷卻系統(tǒng)
通過風(fēng)冷（散熱片+風(fēng)扇）或水冷（冷卻夾套）方式，帶走壓縮熱與機(jī)械摩擦熱。水冷型適用于高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行，控溫更精準(zhǔn)；風(fēng)冷型結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。
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